これらのCNC加工半導体チャンバー部品は、ウェハ処理工程を収容する真空シール・プラズマ耐性エンクロージャです。当社は壁厚を±0.005 mmに保持し、すべての合わせ面で0.005 mmの振れを実現し、初品を15日ではなく5日で出荷します。すべての部品は、認定済みのアルミニウムまたはステンレスビレットから3軸および5軸マシンでフライス加工され、その後、過酷なエッチングおよび堆積環境での耐浸食性を確保
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これらのCNC加工半導体チャンバー部品は、ウェハ処理工程を収容する真空シール・プラズマ耐性エンクロージャです。当社は壁厚を±0.005 mmに保持し、すべての合わせ面で0.005 mmの振れを実現し、初品を15日ではなく5日で出荷します。すべての部品は、認定済みのアルミニウムまたはステンレスビレットから3軸および5軸マシンでフライス加工され、その後、過酷なエッチングおよび堆積環境での耐浸食性を確保
これらのCNC加工半導体チャンバー部品は、ウェハ処理工程を収容する真空シール・プラズマ耐性エンクロージャです。当社は壁厚を±0.005 mmに保持し、すべての合わせ面で0.005 mmの振れを実現し、初品を15日ではなく5日で出荷します。すべての部品は、認定済みのアルミニウムまたはステンレスビレットから3軸および5軸マシンでフライス加工され、その後、過酷なエッチングおよび堆積環境での耐浸食性を確保するため、60 HRC相当の表面硬度にハードアルマイト処理を施します。
シール溝はあらゆるチャンバーの心臓部です。ここにリーク経路があるとプロセス全体が台無しになります。当社はこれらの溝を汎用エンドミルではなく、専用の単点工具で切削します。当社のCNCプログラムは、12,000 RPM、0.02 mmステップオーバーでのダウンカットミリングを使用し、Oリングを均一に圧縮する表面を生成します。各溝は、単なるプロフィロメータではなく、校正済みエアゲージで検証します。結果として、出荷するすべてのチャンバーでヘリウムリーク率が1×10⁻⁹ mbar・L/s未満を達成しています。
ほとんどのチャンバーには6061-T6アルミニウムを使用します。熱伝導率（167 W/m・K）と被削性のバランスが優れているためです。フッ素系プラズマの場合は、316Lステンレスまたはインコネル625に切り替えます。これらの合金は、標準的なアルミニウムを溶解するハロゲン攻撃に耐性があります。フライス加工後、タイプIIIハードアルマイト処理を施して50〜60 HRC、またはステンレスには無電解ニッケルめっきを施して48〜52 HRCにします。T6テンパーは、入荷するすべてのビレットに対して導電率試験で検証されます。
当社は抜き取り検査に依存しません。各部品は、0.001 mm分解能のプローブによる完全なCMM検査を受け、形状に応じて40〜120点を測定します。シール溝は、最終組立で使用するのと同じエアゲージで測定されます。表面仕上げは、手持ち式のスクラッチゲージではなく、レーザープロフィロメータでチェックされます。すべてのデータは、注文番号付きのPDFレポートに保存され、部品出荷前に送信されます。
チャンバー壁には、3軸マシンでは複数回のセットアップなしでは到達できない角度付きポート、ガス導入孔、冷却チャンネルがあります。セットアップごとに振れのリスクが加わります。当社の5軸DMG MORIマシンは、これらの特徴を1回のクランプで切削し、部品全体で位置公差±0.01 mmを維持します。図面でポート角度が30°または45°の場合、当社は1パスで加工します。二次的なEDMや穴あけ加工は不要です。
標準納期は、単一プロトタイプチャンバーで5〜7日、50個のバッチで15日です。当社は最小注文数量を課しません。認定用に1個注文し、その後500個にスケールアップできます。これは中国製の精密製造ですが、当社独自の加工ラインを維持しているため、スケジュールを管理できます。ブローカーなし、中間業者なし、下請け業者の空きシフトを待つ必要もありません。
プラズマにさらされるチャンバー内部は、粒子放出を低減するためにRa 0.4 µmが必要です。当社は4枚刃超硬エンドミルで0.01 mmの半径方向切込み、その後2 µmのダイヤモンドパスでこれを達成します。冷却チャンネルなど粗さが熱伝達に役立つ箇所では、Ra 1.6 µmのままにします。以下の表に標準オプションを示します。仕様をお知らせいただければ、形状がカスタム工具を必要としない限り、追加費用なしで対応します。
| パラメータ | 標準範囲 | 備考 |
|---|---|---|
| 材料 | 6061-T6アルミ、316Lステンレス、インコネル625 | ミルトレーサビリティ付き認定品 |
| 最大部品サイズ | 800 mm × 600 mm × 400 mm | それ以上は要相談 |
| 硬度（アルマイト処理後アルミ） | 50〜60 HRC | タイプIIIアルマイト、25〜50 µm厚 |
| 硬度（Niめっき後ステンレス） | 48〜52 HRC | 無電解ニッケル、20〜30 µm |
| 公差（機械加工） | ±0.005 mm | 重要シール面 |
| 公差（一般） | ±0.02 mm | ISO 2768-fine |
| 表面仕上げ | Ra 0.4 µm〜Ra 1.6 µm | レーザープロフィロメータで測定 |
| 振れ（同心特徴部） | 0.005 mm TIR | CMMで検証 |
| 納期（プロトタイプ） | 5日 | 図面承認から |
| 納期（50個バッチ） | 15日 | 最小注文数量なし — 1個でも500個でも |
お客様のチャンバーはCFフランジ、ISO-K、または独自のクランプ設計を使用する場合があります。当社はこれらすべてを生ビレットから機械加工します。溶接もろう付けもありません。フランジ面は0.002 mmの平面度にラップ仕上げされ、ボルト穴は±0.05 mmの真位置で穴あけされます。図面で標準工具ライブラリにないポートが指定されている場合も、直接プログラムします。当社のCAMソフトウェアはねじ切り用のヘリカル補間に対応しているため、別途インサートは不要です。
最小注文数量はありません。認定用に単一のプロトタイプチャンバー部品を加工し、その後必要な数量にスケールアップできます。
はい、当社の5軸マシンは0°〜90°の任意の角度を±0.01 mmの位置精度で切削でき、冷却チャンネルは最小径3 mmで深さ300 mmまで穴あけ可能です。
すべての部品は0.001 mm分解能の完全なCMM検査を受け、シール溝はエアゲージで測定され、表面仕上げはレーザーで測定されます。すべてのデータはPDFレポートとして送信されます。
20個のバッチは図面承認から10日で出荷し、RFQ受領後12時間以内にメールでスケジュールを確認します。
東莞のほとんどの工場はチャンバー加工を二次工場に外注しています。当社はそうしません。当社独自の20台のCNCマシンが24時間365日稼働し、QCチームはオペレーターと同じフロアにいます。だからこそ0.005 mmの振れを保証できます。オペレーターが部品をCMMに運ぶのは、町の向こうではなく、すぐ隣です。また、5日でのプロトタイプ納期も、外部ベンダーの待ち行列がないからこそ実現できます。これは中国製の精密製造ですが、単一サイト運営による管理を実現しています。
一般的な落とし穴を避けるために、当社のCNC切削工具選択ガイドをお読みください。工具形状がチャンバー表面仕上げに与える影響を解説しています。より厳しい仕様については、当社のCNC加工公差ガイドで、デモ部品ではなく量産で達成可能な値をご確認ください。また、エネルギーコストを評価される場合は、当社の持続可能な精密製造ノートで、部品あたりの電力使用量を18%削減する方法をご覧いただけます。
これらのCNC加工半導体チャンバー部品の図面をお送りいただければ、12時間以内に確実な見積もりを提供します。メールsc@bquq.comまたはWhatsApp +86 13713157787までお問い合わせください。価格、納期、DFMレビューを無料で返信します。義務は一切発生しません。
| パラメータ | 能力 |
|---|---|
| 材料 | AL6061/7075、SUS303/304/316、45#鋼、T2銅、H59真鍮、POM、PEEK、ナイロン |
| 公差 | ±0.005mm標準、±0.003mmは要望に応じて |
| 機械 | 3/4/5軸CNC、旋削・フライス複合、スイス型自動旋盤 |
| 表面処理 | 陽極酸化、ニッケル、亜鉛、不動態化、サンドブラスト、研磨 |
| サイズ範囲 | 最大400 x 300 x 200 mm |
| 試作 | 72時間、サンプルに最小注文数量なし |
| 検査 | バッチごとに完全なレポート、CMMデータは要望に応じて |
