シール面の平面度が真空リークを防ぐ鍵です これらのCNC加工半導体チャンバー部品は、エッチング、成膜、イオン注入装置の耐荷重壁およびガス分配リングです。当社は重要なシール面を0.005 mmの平面度で加工し、Oリング溝の表面仕上げをRa 0.4 µmに保持します。これにより、チャンバーはエラストマーのピンチポイントなしで10⁻⁶ Torrの真空を維持できます。BQUQは東莞で20年間CNC生産を行
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シール面の平面度が真空リークを防ぐ鍵です これらのCNC加工半導体チャンバー部品は、エッチング、成膜、イオン注入装置の耐荷重壁およびガス分配リングです。当社は重要なシール面を0.005 mmの平面度で加工し、Oリング溝の表面仕上げをRa 0.4 µmに保持します。これにより、チャンバーはエラストマーのピンチポイントなしで10⁻⁶ Torrの真空を維持できます。BQUQは東莞で20年間CNC生産を行
これらのCNC加工半導体チャンバー部品は、エッチング、成膜、イオン注入装置の耐荷重壁およびガス分配リングです。当社は重要なシール面を0.005 mmの平面度で加工し、Oリング溝の表面仕上げをRa 0.4 µmに保持します。これにより、チャンバーはエラストマーのピンチポイントなしで10⁻⁶ Torrの真空を維持できます。BQUQは東莞で20年間CNC生産を行っており、この精度を10日間の納期で提供します—米国やドイツの工場で一般的な6週間ではありません。
プラズマにさらされる部品には、6061-T6アルミニウムをお勧めします。その熱伝導率（167 W/m·K）は、316Lステンレスよりも10倍速く反応ゾーンから熱を逃がします。当社は加工前にすべてのプレートを応力除去し、内部応力を取り除きます。加工後、表面に60 HRC相当のハードアノダイズ処理を施し、アーキングやパーティクル発生を防止します。イオン注入エンドステーションには、304Lまたは316Lを使用し、32 Raの電解研磨で1×10⁻⁹ Torr·L/s·cm²以下の脱ガスを実現します。
チャンバー部品には、15°、30°、45°の角度のガス入口ポートが必要になることがよくあります。当社はDMG MORI 5軸マシニングセンタを使用し、これらの角度付き穴を1回のセットアップで加工します。これにより、再固定による累積誤差を排除します。ポート間の位置精度は±0.01 mmです。また、クラス2A適合の内部ねじ切りも行います—これは熱サイクル下でシールする必要があるヒーターカートリッジ穴や熱電対ウェルに重要です。
原材料の各バッチにはEN 10204 3.1ミル証明書が付属します。切削前に化学成分と硬度を検証します。アルミニウム部品にはT6テンパー（190 HB）を使用します。ステンレス部品には溶体化焼鈍状態を使用し、必要に応じて400°Cで最終真空ベークを実施し、水素脆化を除去します。各部品の検査シートに硬度測定値を記録します—「代表値」ではなく実際の数値を提供します。
当社はサンプルではなく、重要特徴部の100%を検査します。Zeiss CMMがすべてのボア、ボルトパターン、シール面を3Dモデルと照合します。真空保持が必要な部品には、1×10⁻⁹ mbar·L/sまでのヘリウムリークテストを実施します。また、校正済みスケールと一緒に部品を撮影し、記録として提供します。全出荷に完全な検査レポートを追加料金なしで添付します。
標準仕上げは、非シール面がRa 0.8 µm、シール面がRa 0.4 µmです。Cl₂やHBrなどの腐食性薬品には、耐食性を備えた25 µmのハードアノダイズ（Type III）を施します。ステンレス部品には、加工硬化層を除去し不動態の酸化クロム表面を残す電解研磨を提供します。当社はブラスト処理を使用しません—メディア粒子が埋め込まれ、ウェーハ欠陥の原因となるためです。
部品をESD安全プラスチックで二重梱包し、フォームライニングの木箱に梱包します。外箱には「Fragile—Vacuum Grade」と表示し、乾燥剤を同梱します。燻蒸証明書や商業送り状を含むすべての輸出書類を処理します。DHLまたはFedExによるドアツードア配送で、米国、EU、日本へ3〜5日で到着します。緊急修理の場合は、48時間以内に単一部品を航空便で発送できます。
| 仕様 | 値/範囲 |
|---|---|
| 材料 | アルミニウム6061-T6、7075-T6、ステンレス304L/316L、チタングレード5 |
| 最大部品サイズ | 1200 mm x 800 mm x 400 mm |
| 厚さ範囲 | 2 mm〜200 mm |
| 硬度（アルミニウム） | T6: 95 HB; ハードアノダイズ: 60 HRC相当 |
| 硬度（ステンレス） | 溶体化焼鈍: 200 HB最大 |
| 加工公差 | ±0.005 mm（直線）、±0.01 mm（位置） |
| 表面仕上げRa | 0.4 µm（シール面）、0.8 µm（標準）、0.2 µm（光学） |
| 振れ（同心度） | ボア間≤0.005 mm |
| 納期 | 標準10日、急ぎ5日 |
| 最小注文数量 | なし — 1個または1000個 |
| 検査 | 100% CMM、ヘリウムリークテストはオプション |
3D STEPまたはIGESファイルが必要です。2D図面では、複雑な湾曲ポートの表面プロファイル指示が欠落します。ソリッドモデルをお送りいただければ、肉厚、工具アクセス、内部Rを確認します。製造上の問題が見つかった場合は、工具代金を支払った後ではなく、4時間以内にお知らせします。
CNCプログラム、治具、検査ルーチンをサーバーに10年間保存します。再注文時には、プログラムを呼び出し、初品を再製作し、7日で出荷します。リピート注文には新しいセットアップ費用はかかりません。年間契約の場合、重要原材料の安全在庫を保持できます—予測をお知らせください。
最小注文数量はゼロです。試作品1個でも量産品1000個でも、同じ単価で加工します。
はい、中国、台湾、日本の認定ミルから調達しています。ASTMまたはDIN仕様をお送りいただければ、24時間以内に在庫状況を確認します。
単品でも1000個のバッチと同じCMM検査と材料証明書を使用します—手抜きはありません。
単純なアルミニウムプレートは48時間で加工し航空便で発送できます。複雑な多ポートチャンバーは5〜7日かかります。
本当の精度でチャンバー部品を製作する準備はできましたか？3Dモデルと数量をsc@bquq.comまでお送りください。材料費、加工時間、配送オプションを含む正式見積もりを12時間以内に返信します。緊急のご質問は、WhatsApp +86 13713157787までご連絡ください。最小注文数量なし、設計費なし、隠れた工具費なし—CNC加工公差ガイドを満たし、何千ものプロセスサイクルに耐えるCNC加工半導体チャンバー部品を提供します。中国での精密製造は20年の輸出経験に裏打ちされています。また、特定の合金に適した工具選定もサポートします—詳細はCNC切削工具選定ガイドをご覧ください。今すぐ図面をお送りください。
| パラメータ | 能力 |
|---|---|
| 材料 | AL6061/7075、SUS303/304/316、45#鋼、T2銅、H59真鍮、POM、PEEK、ナイロン |
| 公差 | ±0.005mm標準、±0.003mmは要望に応じて |
| 機械 | 3/4/5軸CNC、旋削・フライス複合、スイス型自動旋盤 |
| 表面処理 | 陽極酸化、ニッケル、亜鉛、不動態化、サンドブラスト、研磨 |
| サイズ範囲 | 最大400 x 300 x 200 mm |
| 試作 | 72時間、サンプルに最小注文数量なし |
| 検査 | バッチごとに完全なレポート、CMMデータは要望に応じて |
